渦輪分子泵是1956年德國(guó)人W.Becker發(fā)明的一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械真空泵。它也是一種大抽速可獲得超高真空的新型分子泵。在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用和普及。1985年以來(lái)出現(xiàn)了一種工作壓力范圍更寬的大流量的復(fù)合式渦輪分子泵，它可代替擴(kuò)散泵+羅茨泵或渦輪分子泵+羅茨泵。擴(kuò)大了渦輪分子泵的使用范圍。在半導(dǎo)體制造設(shè)備上用以獲得清潔的高真空。人們對(duì)渦輪分子泵的改進(jìn)倍受重視。不斷出現(xiàn)新型的組合式分子泵。如可直排大氣到高真空的組合泵應(yīng)用更方便了、占地面積也少了。
渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
特點(diǎn)
抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快
工作范圍：低真空~中、高真空，大氣~超高真空
極限真空： 10-6 / 10-10 torr
缺點(diǎn)：振動(dòng)、成本高、易損
渦輪分子泵的軸承由有油潤(rùn)滑的滾動(dòng)軸承和滑動(dòng)軸承向完全非接觸式的空氣軸承和磁軸承方向發(fā)展。轉(zhuǎn)子的抽氣單元有渦輪葉片、盤式葉片和牽引式螺旋槽結(jié)構(gòu)。而且動(dòng)、靜葉片間的間隙很小，葉片很長(zhǎng)剛性差。由于操作錯(cuò)誤，突暴大氣到泵中，使葉片損壞，因?yàn)槭艽髿庳?fù)載和離心力的作用開始彎曲振動(dòng)，超過(guò)動(dòng)、靜葉片的間隙將會(huì)發(fā)生葉片相碰損壞事故。因而，高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)遭到破壞時(shí)有發(fā)生，所以關(guān)于渦輪分子泵的安全使用問(wèn)題，曾引起過(guò)渦輪分子泵的設(shè)計(jì)者和操作者的重視和研究，以使渦輪分子泵順利推廣應(yīng)用與安全運(yùn)行。
由于渦輪分子泵使用方便，因此得到廣泛的應(yīng)用和普及。但是，高速的回轉(zhuǎn)體，萬(wàn)一遭到損壞或發(fā)生能量轉(zhuǎn)換對(duì)結(jié)構(gòu)的破壞是難以估量的。所以使用者對(duì)此必須要有高度的重視。日本曾提出渦輪分子泵安全使用準(zhǔn)則及釋放轉(zhuǎn)矩測(cè)試方法的建議以引起用戶注意。真空泵的用途很廣，使用的條件也多種多樣。如使用的工作壓力，被抽氣體的種類和性質(zhì)不同時(shí)，所要考慮的對(duì)策也就不同了。如異物的混入，吸氣口處安裝有保護(hù)的金屬網(wǎng)，網(wǎng)孔的大小直接影響泵的抽氣效率。因此，對(duì)各種對(duì)策要綜合來(lái)考慮其效果。
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